株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

クリーンルームの規格

　クリーンルームの評価法として、代表的なものが清浄度によるクラス分類です。
分類にはいくつかの国際規格が、判断基準として利用されています。清浄度の規格も、クリーンルームに対する要求性能がより高度になるのに伴い、変化し対応してきました。
ここでは、代表的な3つの規格をご紹介します。

　この規格は、従来最もよく用いられてきたものです。クラス分類には1ft3(キュービックフィート）の空気中に含まれる粒径0.5μｍ以上の粒子数を対象としています。1999年に国際規格ISO14644-1が制定され、2001年11月に廃止されました。しかし、現在も日本や米国では、一般的に呼称されています。

以上2つの規格は、従来用いられていた米国連邦規格に比べ、より広い範囲の清浄度クラスに対応するものです。SI単位表記に統一し、1ｍ3の空気中に存在する粒径0.1μｍ以上の粒子数で分類しています。JIS規格は2002年にISO規格と整合され、ともに日本の現在の表記の基準となっています。しかし前述のとおり、廃止された米国国際規格も未だ使用されているので、クリーンルームのクラスを知る際には、どちらの規格を採用しているのか注意が必要です。

（参考）清浄度クラス表示の対比図

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