本文へスキップ

株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

TEL. 047-308-5570

〒271-0063 千葉県松戸市北松戸2-3-6 六協ビル3階

クリーンルームとはABOUT CLEAN ROOM

クリーンルームとは クリーンルームの必要性 クリーンルームの用途クリーンルームの規格 クリーンルームの維持管理

クリーンルームの規格

 クリーンルームの評価法として、代表的なものが清浄度によるクラス分類です。
分類にはいくつかの国際規格が、判断基準として利用されています。清浄度の規格も、クリーンルームに対する要求性能がより高度になるのに伴い、変化し対応してきました。
ここでは、代表的な3つの規格をご紹介します。

Fed.Std.209E
Fed.Std.209E クラス表

 この規格は、従来最もよく用いられてきたものです。クラス分類には1ft3(キュービックフィート)の空気中に含まれる粒径0.5μm以上の粒子数を対象としています。1999年に国際規格ISO14644-1が制定され、2001年11月に廃止されました。しかし、現在も日本や米国では、一般的に呼称されています。

JIS B 9920
JIS B 9920 クラス表

ISO14644-1
ISO14644-1 クラス表

以上2つの規格は、従来用いられていた米国連邦規格に比べ、より広い範囲の清浄度クラスに対応するものです。SI単位表記に統一し、1m3の空気中に存在する粒径0.1μm以上の粒子数で分類しています。JIS規格は2002年にISO規格と整合され、ともに日本の現在の表記の基準となっています。しかし前述のとおり、廃止された米国国際規格も未だ使用されているので、クリーンルームのクラスを知る際には、どちらの規格を採用しているのか注意が必要です。


(参考)清浄度クラス表示の対比図

清浄度クラス表示の対比図


バナースペース

株式会社フジプロ

〒271-0063
千葉県松戸市北松戸2-3-6 
六協ビル3階

TEL 047-308-5570
FAX 047-366-6818