株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

気流測定（三次元風速測定）

　クリーンルームでは、空気を媒体とした汚染経路を遮断することが重要です。空気中の汚染物質の挙動を支配する要因のうち、最も大きなものに気流と拡散があげられます。クリーンルームにおける汚染経路を遮断するために、気流 と拡散の動くをよく把握し、気流設計を検討する必要があります。空気中の汚染物質を、いかにして滞留させず速やかに排除していくか、最善の気流設計をするために気流測定は必要不可欠な測定項目です。

　今まで三次元で気流を捉えようとすると膨大な数の測定データが必要となり、多くの時間と手間がかかっていました。ポイント毎に調整を行う必要がある場合も多く、複雑化しミスも少なくはありませんでした。そこで、弊社では多くの問題を軽減するために、多点同時気流測定装置を開発しました。複数のセンサーを一つにくみ上げ、最大で同時測定を行うことにより、スピードアップと精度の向上に成功しました。また、今まで測定終了後に数日間必要としていた、それぞれのセンサーの合成が不要となり、リアルタイムで解析結果を確認することが可能となりました。

　三次元超音波風速計は、三方向の気流成分を同時に計測することができ、低風速でも十分な精度で測定ができます。パソコンにつなぎデータを取り込むことで、特定時間内の時間平均風速や、乱流強度を表示する機能や、測定対象領域内の風速ベクトルを三次元の図で表示することが可能です。空気中の流れを視覚で捉えることにより、より分かりやすくより具体的に気流状況を把握することができます。


　気流測定に用いる、三次元超音波風速計は金属などで被覆した電熱線をプローブとし、これに取り付けられた発振側とディレクタ側素子の間に超音波を流し、ここを通過する気流によりその特性が変化することを利用したものです。

シミュレーション結果

測定結果画面

気流断面図

• 気流の動向に影響する清浄度、温湿度、ケミカル成分、室圧差圧、他トータルに検証します。
• 経験豊富なスタッフが問題点を的確に判断し、気流改善対策まで行います。
• 三次元風速測定と気流シミュレーションを融合させた検証法による気流調整が可能です。

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