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新設クリーンルームの施工完了時、そのクリーンルームの保証のために規定の騒音レベルが必要とされます。クリーンルームは、FFUが設置されているため、常時ファンが運転し、また多数の装置類が設置・稼動しているため、絶えず音が発生しています。この時、大きすぎる音、不快な音質の音、注意をその方に向けさせる音などが騒音と呼ばれ、不慮の事故などの原因にもなりかねません。よって、騒音の管理がより良い作業環境づくりに重要なものとなっています。
クリーンルームで行う騒音測定は、竣工前の測定が多く、このため、生産装置搬入前、無人状態か生産設備が非稼動状態であること、FFU、空調機、外調機が運転状態であり、所定の風量が出ていること、騒音を発生する作業が行われていないことなどが条件となります。また、FFUなどが停止した状態で騒音測定を行った値を暗騒音といい、稼動時との比較対象に利用されます。測定は、騒音レベルの測定と周波数分析があるので、その目的に応じた測定器を用います。
現在、測定に用いられているのは、ほとんどが下記の2種類です。
・普通騒音計(JIS C 1502-90)
・精密騒音計(JIS C 1505-88)
性能ほとんど同じですが、特に精度を要求される場合に精密騒音計を用います。騒音レベルとは、音の大きさである音圧レベル(単位はデシベル=dB)を、人間の聴覚に合わせて補正した評価尺度のことをいいます。普通騒音計には、聴感補正回路が組み込まれており、実際耳で音を聞いた感度に近似するように作られているA特性と、音が伝播する時に生じる空気中の圧力変化の実効値を表す音圧レベルを示すC特性があります。騒音レベルはA特性を使って測定し、さらにある時間内で変動する騒音レベルのエネルギーを同時間内の定常騒音のエネルギーに置き換えます。これを等価騒音レベルといい、環境評価に用いられます。
図1:NC曲線グラフ
表1:NC値騒音評価表
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