株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

清浄度測定

　クリーンルーム内の環境が、常に設計された清浄度クラスを満たしているかを調べる清浄度測定。クリーンルームの性能評価において最も重要な項目の一つです。弊社ではより正確な測定を目指し、世界初となる清浄度測定ロボットを開発、完全無人・無負荷での測定を実現しました。その他にも常に一定した測定条件を意識した様々な工夫を行っており、多様な規格・クラス・条件に対応することが可能です。

定量的な清浄度測定を行うために、クリーンルームの規格に応じた測定ポイントの選定や吸引流量を正しく設定します。当社の清浄度の評価はJISまたはISOに準じた評価法を用い、以上に対応した国内ではまだ稀な最新鋭大流量吸引パーティクルカウンターを使用し、短時間で正確な測定を行います。

• 汚染源の調査CRレイアウトシミュレーションクリーン清掃も行います。
• 空気中の浮遊微粒子濃度の他、製品・装置等の表面付着粒子、また清浄度の立上り･回復性能まで幅広く評価します。　
• 測定の結果、清浄度が規定のクラスを満たしていなかった場合、風速、気流、室圧測定まで行い、原因を徹底検証し、調整、改善まで行います。
• 三次元風速計と同期測定による気流傾向による塵埃濃度分布の測定を行います。

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