株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

静電気測定

　クリーンルーム内の製品表面が静電気により帯電すると、微粒子が沈着しやすくなり、製品の汚染を促進する要因のひとつになります。帯電電圧が大きくなると製品の静電破壊を生じさせることもあり、電子デバイス製造工程にとって静電気は大敵です。製品や装置各部の静電気による帯電を考えた場合、帯電を生じさせないよう静電気が逃げられるような電気的な経路が確保されているか、またその結果として表面電位が高くなっている箇所がないかを調査することが重要です。

　クリーンルーム内の製品表面が静電気により帯電すると、微粒子が付着しやすくなります。このような静電気の影響は、製品を扱う部位の表面抵抗、漏えい抵抗を下げ、導電性を高めたり、イオナイザで中性化することにより防止できます。以下であげる測定では、製品そのもの矢製品を扱う作業台表面での帯電量、制御空間内での静電場及び正負イオンの分布などを試験評価の対象としています。

表面電位の測定

　測定には静電電圧計（または電場計）を用い、測定表面の正、または、負の帯電電位を測定します。まず、設置した金属板にプローブを取り付け、0点調整を行っておきます。次にプローブを測定対象物に近づけ、電位を測定します。これによって、作業面または製品面での電気的ポテンシャルを評価します。

静電特性の測定

　デジタルマルチメータなどを用い、対象表面上の点間の抵抗、および表面とグラウンド間の抵抗を測定します。これによって、帯電防止のための導電性の材料や通電性のよい表面理材料を用いているか、効果を評価できます。

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