株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

差圧測定

　クリーンルーム内と外部との間には、外部からの汚染物質進入を防止するため、通常、ある程度の差圧が設けられます。またクリーンルームが目的ごとのゾーンに分割されている場合には、目標清浄度が高い順に陽圧となるよう差圧設定されます。以上の場合、設定条件どおり各ゾーン間に適当な差圧が得られているか確認しておく必要があります。また、クリーン機器やフィルタの目詰まりをみるためにも利用できます。

フィルタ差圧測定

　清浄空気の供給口フィルタは、ある程度の期間使用すると次第に目詰まりを起こし、圧損が大きくなります。これを放置しておくと、清浄度の悪化につながり、製品の歩留まりの増加をもたらします。測定にはマノメータを用い、その結果より、圧損が大きくなっているフィルタを見つけ、部分的な交換をお勧めします。

室間差圧測定

　測定ははすべての扉類を閉めた状態で、クリーンルーム外部と予室、予室とクリーンルームというように順次測定していきます。測定には電子式／機械式のマイクロマノメーターや傾斜マノメーターを用います。また、差圧が大きくなりすぎた場合には、エアダンパで調整することになるので、測定の際にはエアダンパも正常に作動するか確認します。

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