温湿度測定

事業内容DESCRIPTION OF BUSINESS

　クリーンルーム内の環境が、常に設計された清浄度目的に応じて、さまざまな測定システムを用意しています。長時間の連続モニターや温湿度調整、温度分布測定やシミュレーションも可能です。

　発熱する生産装置がメンテナンスゾーンやユティリティゾーンに設置されている場合、発熱負荷は増加します。この測定では、対象とするクリーンルームの空調・送風システムが適切に動作し、制御対象空間における温度や湿度レベル(相対湿度または露点として測定)が、本来の設定範囲内に制御されているか、確認することができます。