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従来、振動測定とは、機械振動や環境振動など居住性を主な対象としておりましたが、ナノテクノロジーや半導体産業の発達に伴い、現在では、より微細な振動の測定が必要とされています。また、判定基準もJISに準じた振動レベルの測定だけではなく、振動原因の特定、固有振動伝達のモデリングを目的としたFFT解析を行うことにより、導入予定装置への振動影響を評価検証する必要性も考えなければいけません。
振動測定を行なう際は、特定施設の位置および振動レベルが高いと思われる箇所を確認し、測定位置を決定します。測定する時間帯は、測定場所の稼動形態によって決定します。
振動の大きさは、変位、速度、加速度の3つの尺度で表すことができ、どの尺度を用いるかは振動現象の相違や測定目的によって決定します。3つの尺度は、積分・微分で変換できますので何れかのモードで測定しておけば、後で変換できます。
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