株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

風量測定

　クリーンルーム内を清浄な環境に保つためには、塵埃をためず、即座に排除する必要があります。このために、空気を循環させることが重要で、そこには風速が大きく影響します。風速が小さすぎると、塵埃の滞留時間が長くなり、大きすぎると装置の床からの跳ね返りで乱流の原因となってしまいます。風量測定をすることによってクリーンルーム内の換気や汚染物質除去に必要な循環風量がえられているかどうか、またフィルタ面や各吹き出し口において風量や吹き出し風速にばらつきがないかどうかを確認することができます。

　測定は指向性熱線微風速計を使用し、測定方法はクリーンルーム空調方式の種類によって変化します。

一方向流形クリーンルーム

　まず、フィルタ面の縦横の長さを計測しておきます。測定は、フィルター面直下150�o〜200�oにて、測定点を５箇所とり、各点の風速を測ります。１つのフィルタ面において、測定点ごとに著しく風速が異なる場合は、測定点数を増やします。フィルタ面直下ではろ材の折込みの影響などを受ける場合があるため、50�o程度離すように注意します。測定後、風速の平均値を算出し、フィルタ面の計測値から面積を求め、計算した風速と面積を乗じて、風量を算出します。

非一方向流形クリーンルーム

　非一方向流形クリーンルームの吹き出し風速は、一方向流形のものと比べて一様ではありません。よって、この風量を評価するには、吹き出し口を完全に覆う補助ダクトを製作・使用して、ここを通過させ、一方向流に調整して測定を行います。測定点数は、下図のように器具の形状によって変化します。

一般空調

空調方式の種類毎の測定写真

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