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クリーンルームを運営していく上で、その表面の汚染を完全に食い止めることは、残念ながらできません。このため、日常的に最低1日1回の清掃を行い、できるだけ素早く汚染を除去することが必要です。しかし、日常に行う簡易的な清掃では、やはり限界があります。週に1回、月に1回等、定期的に本格的な清掃を行うことで、よりグレードの高いクリーンルーム運営をしていくことができます。
日常清掃できない表面は、定期的な清掃が必要です。多くの表面は、多かれ少なかれリスクがあり、そのリスクを考慮して清掃の周期が決められます。周期は、1回/日のほかに、1回/週、1回/2週、1回/月、1回/2月及び1回/6月が明示されています(下図参照:日本空気清浄協会JACA No.27-1992「クリーンルームにおける清浄化指針」)。定期清掃される床の表面によっては、製品を前日に移動する、カバーするなどの処置も必要です。基本的な清掃の方法としては、真空掃除機で大きい粒子を取り除く方法、モップや無発塵布を純水等で濡らして拭きとる湿式清掃による方法と除去する汚染物に対応した洗剤を用いる拭き掃除などがあります。
クリーンルームにおける清浄化対象とその内容
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